掩膜版

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TFT-LCD阵列基板栅极半透掩膜版设计研究
《电子技术与软件工程》2023年第7期126-129,共4页乔亚峥 沈鹭 江鹏 刘信 丁俊 
本文采用40%和45%透光率的栅极半透掩膜版,详细分析了各透光率下的曝光特性、工艺波动性、生产节拍、量产可行性等。研究表明:栅极半透掩膜版透光率设计可结合产品性能要求和生产节拍进行选择。高端产品,工艺稳定性要求高,需求品质优,...
关键词：超维场转换技术 栅极半透掩膜版 透光率 
国内首条G11光掩膜版项目在成都高新区启动
《电子技术与软件工程》2018年第5期3-4,共2页
近日，国内首条G11光掩膜版项目——路维光电高世代光掩膜生产基地项目在成都高新区启动。该项目总投资10亿元，由深圳路维光电参与设立的控股公司——成都路维光电有限公司负责项目建设，建成后将成为我国最大的掩膜版制造基地。
关键词：掩膜版 高新区 成都 国内 项目总投资 生产基地 项目建设 制造基地 
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