C-V法

作品数：14被引量：43H指数：4
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用C-V法测试Cd在InSb中扩散层的杂质浓度及其分布被引量：1
《半导体光电》1991年第4期404-408,共5页周冠山 
在光伏型红外探测器的生产中,扩散层的杂质浓度及其分布是十分重要的。及时了解杂质浓度及其分布,将有助于获得最佳性能的器件。本文研究了 C-V 法测试 Cd 在 InSb 中扩散层的杂质浓度及其分布,为浅结杂质分布的确定提供了一个新的方法。
关键词：红外探测器 杂质扩散 C-V法 测量 
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