CMOS兼容

作品数：42被引量：54H指数：4
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基于非对称的马赫-增德干涉仪的CMOS兼容的热补偿器
《山东工业技术》2016年第6期51-51,共1页龙祁峰 
本文提出一种新型的基于非对称的马赫-增德干涉仪的CMOS兼容的热补偿器,能补偿大多数具有正热光效应的硅基光电子集成器件,虽然该热补偿器由硅基的马赫-增德干涉仪组成,但却具有负热光系数,且可直接通过现有CMOS工艺制作,为半导体光集...
关键词：硅基光电子 集成光路 CMOS工艺 负热光系数 热补偿器 
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