CVD设备

作品数:37被引量:34H指数:3
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宁波材料所在CVD大块单晶金刚石合成技术方面取得进展被引量:1
《超硬材料工程》2014年第4期61-61,共1页
中国科学院宁波材料技术与工程研究所“功能碳素材料团队”以实现金刚石精密工具的国产化和产业化为目标,最近在CVD(Chemical—Vapor—Deposition:化学气相沉积)单晶金刚石合成方面取得了突破性进展。团队从国产微波等离子体CVD设...
关键词:单晶金刚石 CVD设备 碳素材料 合成技术 宁波 大块 化学气相沉积 微波等离子体 
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