CZSI

作品数：22被引量：12H指数：2
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Study on release rate of latent heat in Czochralski silicon growth被引量：1
《Rare Metals》2006年第z2期51-54,共4页REN Bingyan YANG Jiankun LI Yanlin LIU Xiaoping WANG Minhua 
This project was financially supported by the National Natural Science Foundation of China(No.60576002).
The pulling rate in czochralski silicon (CZSi) growth is important for reducing the cost of solar cell. In this paper, double-heater, heat shield and composite argon duct system were introduced in the Ф450 mm hot zon...
关键词：CZSI latent heat double-heater heat shield numerical simulation 
Effects of argon gas flow rate and guide shell on oxygen concentration in Czochralski silicon growth被引量：3
《Rare Metals》2006年第1期7-10,共4页REN Bingyan ZHAO Long ZHAO Xiuling WANG Huixian CAO Zhongqian ZHU Huimin FU Hongbo 
This project is financially supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 60576002).
φ200 mm silicon single crystals were grown in the φ450 mm hot zone of a Czochralski （CZ） furnace. By modifying the pattern and the velocity of the argon flow, the silicon single crystals with different oxygen conc...
关键词：inorganic non-metal material CZSI numerical simulation guide shell oxygen concentration 
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