EL2

作品数：38被引量：26H指数：3
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热处理改善未掺杂LEC　GaAs中EL2分布均匀性的机理研究
《半导体杂志》1994年第2期12-14,共3页李光平 杨瑞霞 
本文以热处理方法研究了ＬＥＣＳＩ－ＧａＡｓ中ＥＬ２径向分分布变化规律，着重研究了不同的热处理后冷却方式对ＥＬ２分布均匀性改善程度的影响，讨论了ＬＥＣＧａＨｓ中ＥＬ２分布不均匀性的起源及热处理改善ＥＬ２分布均匀性的机理．
关键词：砷化铵 热处理 EL2 
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