云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- GLOBALFOUNDRIES

GLOBALFOUNDRIES: 作品数：41被引量：3H指数：1; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：吕飞王喜莲王敦辉潘红兵更多>>; 相关机构：《中国集成电路》编辑部南京大学更多>>; 相关期刊：《汽车与配件》《中国集成电路》《电子技术应用》《半导体技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金更多>>

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基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDlite^(TM)工艺的微型CMOS五电极垂直型霍尔器件的研究: 《电子器件》2018年第5期1087-1092,1096,共7页汤伟吕飞张胜潘红兵王敦辉; 国家自然基金面上项目(61376075); 为了解决五电极垂直型霍尔器件(5CVHD)电流灵敏度较低以及器件流片迭代周期较长、成本较高的问题,基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDliteTM工艺在有限元分析软件COMSOL中进行器件结构设计和仿真,研究器件结构和工艺参数对5CVHD性能的影响...; 关键词：霍尔传感器 5CVHD COMSOL 电流灵敏度器件结构工艺参数