吕飞

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供职机构:南京大学电子科学与工程学院更多>>
发文主题:垂直型GLOBALFOUNDRIESCMOSTM信号处理器更多>>
发文领域:电子电信更多>>
发文期刊:《微电子学与计算机》《电子器件》更多>>
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基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDlite^(TM)工艺的微型CMOS五电极垂直型霍尔器件的研究
《电子器件》2018年第5期1087-1092,1096,共7页汤伟 吕飞 张胜 潘红兵 王敦辉 
国家自然基金面上项目(61376075)
为了解决五电极垂直型霍尔器件(5CVHD)电流灵敏度较低以及器件流片迭代周期较长、成本较高的问题,基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDliteTM工艺在有限元分析软件COMSOL中进行器件结构设计和仿真,研究器件结构和工艺参数对5CVHD性能的影响...
关键词:霍尔传感器 5CVHD COMSOL 电流灵敏度 器件结构 工艺参数 
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