弹性散射截面

作品数:37被引量:24H指数:2
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相关作者:孙金锋戴运生万代蓉何延才谭震宇更多>>
相关机构:中国科学院河南师范大学四川大学山东工业大学更多>>
相关期刊:《中国核科技报告》《计算物理》《电子显微学报》《微细加工技术》更多>>
相关基金:国家自然科学基金河南省教育厅自然科学基金中国工程物理研究院科学技术发展基金国家教育部博士点基金更多>>
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弹性散射截面对计算电子束投影成像衬度的影响被引量:2
《电子显微学报》2004年第5期571-574,共4页浦其荣 丁泽军 孙霞 吴自勤 
国家自然科学基金资助项目(No.10025420;20075026;90206009);教育部博士点基金资助项目.
我们采用蒙特卡洛方法模拟了100keV电子通过W Cr Si3N4掩膜的透射率。发现在此高能量下,电子弹性散射的Mott截面与经典的Rutherford截面仍有较大差异。由于这两种总截面和小角散射的微分截面不同,因此采用何种截面将直接影响限角散射电...
关键词:总截面 电子弹性散射 微分截面 弹性散射截面 投影 透射 蒙特卡洛方法 r/S 高能量 成像 
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