HGCDTE材料

作品数：32被引量：39H指数：3
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HgCdTe材料的溴-甲醇抛光工艺研究被引量：4
《半导体光电》2012年第5期683-685,702,共4页张立瑶 乔辉 李向阳 
国家自然科学基金项目(60907048)
碲镉汞(HgCdTe)红外探测器制备中的化学-机械抛光工艺会在碲镉汞材料表面形成一定深度的损伤层。用溴-甲醇化学机械抛光取代溴腐蚀工艺,有效地降低了抛光过程所产生的表面损伤。在溴-甲醇抛光工艺中,可变参数有溶液的浓度比、抛光时间...
关键词：HGCDTE 化学机械抛光 表面损伤 XRD 
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