IC版图

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数字光刻系统的IC版图数据接口算法的研究
《微电子学与计算机》2013年第5期79-83,共5页李博 刘俊标 
国家02专项(2009ZX02037)
针对基于数字微镜阵列(DMD)的数字无掩模光刻系统,提出了一种新型IC版图数据接口转化算法,建立了版图数据到曝光数据的转化接口.该接口根据数字光刻系统的需求,以IC版图中工艺层为单位,在保证曝光精度的前提下,可以自动将高精度的IC版...
关键词：IC版图数据 接口 无掩模光刻 单次曝光精度 矢量几何计算 DMD 
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