IC版图

作品数：20被引量：7H指数：1
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LSIC版图扫描场分割方式的研究被引量：1
《微细加工技术》1999年第4期10-13,共4页胡咏梅 胡毅 贾春娟 王绍钧 
对版图扫描场分割方式进行了研究，详细论述了ｍ ×ｎ Ｓ形扫描场分割方式和任意扫描场分割方式。
关键词：版图 扫描场 电子束曝 LSIC 集成电路 
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