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《微纳电子技术》2011年第4期275-275,共1页
松下与IMEC联合开发工作电压1．8v的MEMS谐振器 松下与比利时的IMEC宣布，共同开发了Q值为业界最高水平的低电压驱动MEMS谐振器。部分开发技术已在“IEDM 2010（2010 IEEE International Electron Devices Meeting）”（2010年12月6—...
关键词：MEMS谐振器 DEVICES 产品 低电压驱动 工作电压 IEDM IEEE 开发 
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