LDMOST

作品数:13被引量:6H指数:2
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New CMOS compatible super-junction LDMOST with n-type buried layer被引量:1
《Chinese Physics B》2007年第12期3754-3759,共6页段宝兴 张波 李肇基 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No 60436030) and the Key Laboratory for Defence Science and Technology on Military Simulation Integrated Circuits (Grant No 9140C0903010604).
A new super-junction lateral double diffused MOSFET (LDMOST) structure is designed with n-type charge compensation layer embedded in the p^--substrate near the drain to suppress substrate-assisted depletion effect t...
关键词:super-junction LDMOST n-type buried layer REBULF breakdown voltage 
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