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MCP: 作品数：605被引量：1269H指数：18; 导出分析报告; 相关领域：农业科学更多>>; 相关作者：杨平田景全孙建宁魏庆信赵宝升更多>>; 相关机构：中国科学院南京理工大学长春理工大学北方夜视技术股份有限公司更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家科技支撑计划更多>>

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沉积温度及热处理对AZO纳米叠层薄膜性能的影响被引量：3: 《微纳电子技术》2019年第2期140-144,共5页丁铮关钧端木庆铎; 国家自然科学基金资助项目(61077024); 采用原子层沉积技术(ALD)在石英片和n型(100)Si上沉积高阻氧化锌铝(AZO)纳米叠层薄膜,通过扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)和体积表面电阻率测试仪对薄膜的表面形貌、晶体结构及电学性能进行表征分析,分别研究了不...; 关键词：微通道板(MCP) 氧化锌铝(AZO)纳米薄膜原子层沉积(ALD) 热处理电学特性

基于三维结构的钯催化电极的制备及其性能分析: 《微纳电子技术》2018年第2期122-129,共8页岳馨瑶付月徐少辉; 国家自然科学基金资助项目(61176108);上海市科学技术委员会资助项目(14DZ2260800); 利用MEMS技术制备了硅微通道板（Si-MCP）并以此作为基底制备宏孔导电网络（MECN）,利用3种方式在其外表面和孔道内壁沉积钯纳米粒子合成了三维乙醇催化电极。通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）等表征手段对电极形貌和组分...; 关键词：硅微通道板(Si-MCP) 多孔导电网络(MECN) 液流沉积纳米钯催化乙醇燃料电池

基于硅微通道板的NiFeP磁微米线阵列制备及软磁性能: 《微纳电子技术》2016年第12期801-806,共6页连柯楠童新付梦秋谭人玮徐少辉朱一平熊大元赵振杰王连卫; 国家自然科学基金资助项目(61176108);上海市科学技术委员会资助项目(14DZ2260800); 以硅微通道板(Si-MCP)作为基底,采用真空化学镀的方法在其孔道内沉积一层镍铁磷合金层,进而形成一个排列整齐的阵列结构。对这种阵列的形貌进行了研究,发现它是由无数根空心正方形微米线构成。此外,还分别研究了平行于微米线阵列和垂直...; 关键词：硅微通道板(Si-MCP) 磁微米线阵列镍铁磷软磁性真空化学镀

基于硅微通道板的CoNiP微米管阵列的磁性: 《微纳电子技术》2016年第11期751-756,共6页童新连柯楠付梦秋谭人玮赵振杰熊大元徐少辉朱一平王连卫; 国家自然科学基金资助项目(61176108);上海市科学技术委员会资助项目(14DZ2260800); 利用压差液流法在硅微通道板(MCP)孔道内侧壁上沉积钴镍磷(CoNiP)软磁性材料,制备了钴镍磷微米管阵列。比较了液流沉积与直接水热法沉积两种工艺方法,验证了液流法对于宏多孔硅化学沉积的优化。以不同方式对所得样品进行退火,观察平行...; 关键词：硅微通道板(Si-MCP) 高深宽比微米管阵列液流沉积易磁化方向

低压扫描电镜电介质二次电子MCP收集特性: 《微纳电子技术》2015年第3期191-196,共6页汪春华李维勤; 国家自然科学基金资助项目(11175140); 采用数值仿真和实验测量相结合的方法,研究了低压扫描电镜(LVSEM)检测电介质样品过程中二次电子的出射规律,获得了二次电子的出射特性和微通道板(MCP)收集器的接收特性。结果表明,二次电子的出射角度近似余弦分布;由于电子的散射、输运...; 关键词：电介质二次电子收集效率微通道板(MCP) 扫描电镜(SEM)

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