表面镀膜

作品数：54被引量：87H指数：5
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相关领域：化学工程金属学及工艺更多>>
相关作者：吴锋赖奇朱嘉琦谭久彬刘俭更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学中国科学院玻璃有限公司北京理工大学更多>>
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导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响被引量：7
《中国激光》2009年第11期3060-3063,共4页张大伟 袁丽萌 黄元申 倪争技 陈麟 朱亦鸣 庄松林 
国家科技部支撑计划(2006BAK03A03);上海市科委(07DZ22026;08ZR1415400;08DZ2272800)资助课题
为了研究亚波长光栅表面上薄膜的生长特性,以及镀膜对亚波长光栅物理特性的影响,对亚波长正弦槽形光栅表面上镀的Au膜进行了实验研究和理论分析。实验发现,当光栅槽深为80nm,Au膜为100nm时,薄膜的生长是仿形生长,光栅的正弦槽形特征和...
关键词：薄膜 亚波长光栅 薄膜生长 占空比 正弦槽形 导模共振 
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