表面镀膜

作品数：54被引量：87H指数：5
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复杂腔体件表面磁控溅射镀膜关键技术的研究被引量：1
《现代机械》2018年第1期80-83,共4页王德山 陈尤旭 胡兵兵 
江苏省基础研究计划(自然科学基金)面上研究项目"多轮廓型腔结构件磁控溅射类金刚石碳膜附着机理研究";编号:BK20151220
多轮廓型腔结构件具有复杂的内腔,采用化学镀膜方法在对工件内腔镀膜过程中存在膜基结合力差、薄膜厚度不均匀致密、内腔死角无法镀膜以及环境污染等诸多问题。磁控溅射镀膜技术作为一种新型镀膜工艺,其镀膜均匀致密且绿色无污染,能良...
关键词：磁控溅射 复杂型腔 绿色环保 表面镀膜 关键技术 
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