并联开关

作品数：17被引量：24H指数：3
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RF MEMS电容式并联开关的研制被引量：4
《半导体光电》2011年第6期785-788,共4页高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016;2010A0302013)
通过分析MEMS电容式并联开关的工作原理,设计并制作出一款适合Ka波段分布式MEMS移相器的电容式开关。通过理论计算和经验选取,初步得到了MEMS电容式并联开关的结构尺寸。采用HFSS软件建立了开关的三维电磁场模型并优化了关键结构参数。...
关键词：射频微电子机械系统 开关 工艺 驱动电压 测试 
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