射频微电子机械系统

作品数:16被引量:46H指数:4
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:高杨贾小慧秦燃官承秋张宇峰更多>>
相关机构:中国工程物理研究院电子工程研究所西南科技大学重庆大学北京邮电大学更多>>
相关期刊:《微波学报》《中国机械工程》《半导体光电》《微纳电子技术》更多>>
相关基金:国家自然科学基金中国工程物理研究院科技发展基金中国人民解放军总装备部预研基金四川省教育厅重大培育项目更多>>
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铜基空气微同轴工艺技术被引量:4
《微纳电子技术》2020年第8期597-603,共7页史光华 王建 徐达 郭诚 常青松 王真 周彪 张延青 
铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成。与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离度、低损耗、高功率容量等特点,同时又保留了平面微带器件集...
关键词:微同轴 高频低损耗 功率合成器 毫米波(MMW) 射频微电子机械系统(RF MEMS) 
RF MEMS开关的研究进展及其应用被引量:13
《微纳电子技术》2018年第9期652-659,共8页黄成远 张斌珍 段俊萍 王雄师 徐永庆 
国家自然科学基金资助项目(U1637212);装备预研领域基金资助项目(61404130402)
射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性的成果,并对比了其结构特点及性能参数,指出国内RF MEM...
关键词:射频微电子机械系统(RF MEMS)开关 移相器 可调滤波器 可重构天线 微波 
基于改进PSO算法优化RF MEMS功分器设计被引量:1
《微纳电子技术》2017年第4期254-260,272,共8页回海生 刘建霞 梁军 
微细加工光学技术国家重点实验室基金资助项目(KFS-4)
为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32~36 GHz的RF MEMS功分器进行了建模仿真,并得到初始的电路设计参数。通过使用结合...
关键词:粒子群优化(PSO)算法 射频微电子机械系统(RF MEMS) 功分器 先进设计系统(ADS) 高频结构仿真器(HFSS) 
电容式RF MEMS开关自热效应的多物理场协同仿真
《强激光与粒子束》2016年第6期41-45,共5页高杨 李君儒 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14ZXTK01);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金项目(2013MS04)
随着信号输入功率的升高,电容式RF MEMS开关会发生自热效应使膜片变形,引起开关气隙高度的改变,导致开关驱动电压漂移,严重影响其可靠性。由于自热效应的失效机理涉及到复杂的多物理场耦合,因此提出了“电磁-热-应力”的多物理场协同仿...
关键词:射频微电子机械系统 电容式开关 自热效应 失效机理 多物理场 协同仿真 
电容式RFMEMS开关膜片边缘场效应的表征
《太赫兹科学与电子信息学报》2015年第2期342-346,共5页李君儒 高杨 何婉婧 蔡洵 黄振华 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金(ZZ14001;2012CJMZZ00009);重庆大学光电技术及教育部重点实验室访问学者基金;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金(2013MS04);中物院电子工程研究所科技创新基金(S20141203);西南科技大学研究生创新基金(14YCX107;14YCX109;14YCX111)
计及电容式RF MEMS开关膜片上电场分布的边缘场效应后,很难建立高保真的开关自驱动失效阈值功率解析模型。因此,采用膜片承受射频信号功率的面积(ARF)和膜片与传输线的正对面积(A)的比值构建优值(Fo M),以表征膜片上电场分布的边缘场效...
关键词:射频微电子机械系统 电容式开关 射频功率容量 自驱动 边缘场效应 
具有二氧化硅温度补偿层的薄膜体声波谐振器的建模与分析(英文)被引量:3
《强激光与粒子束》2015年第1期169-174,共6页高杨 周斌 何移 何婉婧 
supported by SciTech Found of the CAEP Key Laboratory of Precision Manufacturing Technology(2012CJMZZ00009,2014ZA001);Visiting Scholar Found of the State Key Laboratory of Fundamental Science of Micro/Nano-Device and System Technology(Chongqing University)(2013MS04);IEE CAEP SciTech Innovation Found(S20141203);SWUST Postgraduate Innovation Found(13YCJJ36,14YCX107,14YCX109,14YCX111)
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个...
关键词:射频微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 频率漂移 温度系数 稳定性 有限元分析 
高隔离度阶跃结构MEMS开关的设计被引量:1
《微纳电子技术》2013年第10期623-628,共6页凌源 鲍景富 李昕熠 黄裕霖 寇波 赵兴海 
国家部委基金项目(9140A23060409DZ02);国家自然科学基金资助项目(11176006)
针对MEMS开关提高电容比需要提高驱动电压的问题,提出了一种应用于Ku频段的阶跃结构MEMS开关,该结构结合了固支梁开关和悬臂梁开关,使得开关有两个驱动高度。当固支梁被吸合时,悬臂梁高度会随之降低,在增加开关电容比的同时降低了驱动...
关键词:射频微电子机械系统(RF MEMS) 驱动电压 隔离度 插入损耗 回波损耗 
RF MEMS电容式并联开关的研制被引量:4
《半导体光电》2011年第6期785-788,共4页高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016;2010A0302013)
通过分析MEMS电容式并联开关的工作原理,设计并制作出一款适合Ka波段分布式MEMS移相器的电容式开关。通过理论计算和经验选取,初步得到了MEMS电容式并联开关的结构尺寸。采用HFSS软件建立了开关的三维电磁场模型并优化了关键结构参数。...
关键词:射频微电子机械系统 开关 工艺 驱动电压 测试 
五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计被引量:3
《微纳电子技术》2011年第10期655-659,共5页高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016;2010A0302013)
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于-0.8 dB...
关键词:射频微电子机械系统(RF MEMS) 移相器 传输线 微开关 微桥 
Ka波段五位分布式MEMS传输线移相器设计被引量:4
《半导体光电》2011年第2期204-207,275,共5页贾小慧 高杨 柏鹭 王强 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016);四川省教育厅重大培育项目(07ZZ038);西南科技大学研究生教改项目(2007XJJG33);教育部访问学者基金项目
通过在共面波导上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS移相器。首先给出了5位分布式MEMS移相器的总体结构图,分析了理论参数的设计方法。再采用HFSS建立单个微桥的三维电磁仿真模型,利用仿真得到的S参数拟合微...
关键词:射频微电子机械系统 分布式移相器 传输线 
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