微开关

作品数：24被引量：39H指数：3
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全天时星敏感器视场选通成像系统的微开关阵列设计
《光子学报》2023年第4期74-84,共11页方亮 汪为民 王强 程欣 范真节 张辉 赵汝进 刘恩海 
国家重点研究发展计划(No.2019YFA0706001);中国科学院“西部之光”人才培养引进计划(No.YA19K008)。
针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑梁宽...
关键词：全天时星敏感器 视场选通 背景光抑制 静电驱动 微开关阵列 占空比 响应时间 
跨尺度、高深宽比惯性微开关制作工艺研究
《电加工与模具》2016年第4期26-29,44,共5页杜立群 陈胜利 陶友胜 罗磊 赵明 刘双杰 
国家自然科学基金资助项目(51375077);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA042701)
采用基于光刻和微电铸的多层UV-LIGA工艺在金属基底上制作了惯性微开关。研究了电铸面积对胶层内应力的影响,解决了胶层从基底脱落的问题。通过实验分析了电流密度对铸层层间结合力的影响,解决了铸层分层问题。通过煮沸无机酸的方式去...
关键词：惯性开关 微电铸 UV-LIGA 跨尺度 
一种新型微加速度开关理论分析
《电子测试》2014年第9X期20-22,共3页孙宪南 贾建援 
本文对新型基于水银为介质的微流体加速度开关进行了理论可行性分析研究。在理论上说明了水银加速度开关的原理。在分析了水银加速度开关可行性及其潜在的优点的基础上,本文对于在不同加速度作用下,水银运动的方程进行了理论探索,这对...
关键词：微流体 微开关 微机械 
以水银为介质的微加速度开关静力学分析
《电子测试》2014年第2X期10-12,5,共4页孙宪南 贾建援 
本文对新型基于水银为介质的微流体加速度开关进行了理论可行性分析研究。在理论上说明了水银加速度开关的原理。对于在不同加速度作用下,水银运动的方程进行了理论探索,这对于整个开关的研究具有重要意义。
关键词：微流体系统 微开关 水银开关 
机电耦合中微开关悬臂梁的瞬态分析被引量：2
《现代机械》2012年第6期66-68,共3页陈美琴 
在微机电开关梁的设计过程中,对其吸合过程的响应时间的分析具有重要的意义。对静电力驱动的微开关梁的瞬态分析用于确定设计中的结构或机器部件的响应时间是必要的。运用ANSYS软件对微梁模型进行机电耦合分析,采用Trans126换能器单元...
关键词：微梁 机电耦合 Tran126 瞬态分析 
闭锁电热微开关的制备及性能测试
《功能材料与器件学报》2012年第5期345-349,共5页张颖 汪红 毛胜平 戴旭涵 丁桂甫 
上海市科委项目(11DZ2290203);国家自然基金(50977056)
本文主要介绍了一种闭锁电热微开关的制备及性能测试。利用双层膜电热微驱动器,基于双悬臂梁的结构设计,实现开关的驱动和闭锁。采用MEMS表面微加工技术完成所设计微开关器件的制备,并对其进行性能测试。结果表明,施加的脉冲电信号的最...
关键词：电热驱动 机械锁定 MEMS微加工工艺 时序双脉冲电信号 
五位分布式MEMS传输线移相器的优化设计被引量：3
《微纳电子技术》2011年第10期655-659,共5页高杨 贾小慧 秦燃 官承秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016;2010A0302013)
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5°两种微桥,单元在Ka波段的插入损耗均大于-0.8 dB...
关键词：射频微电子机械系统(RF MEMS) 移相器 传输线 微开关 微桥 
基于LIGA技术的光热驱动微开关研究被引量：2
《光学仪器》2011年第2期33-37,共5页林星 赵冬伟 王波 伊福廷 张冬仙 
国家863计划资助课题(2006AA04AZ237)
设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真,揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的相互关系;基于同步辐射光源及LIGA技术,以金属镍(Ni)为基底材料,微加工制作出一个微悬臂长度1435μm、倾...
关键词：LIGA 光热驱动 微开关 ANSYS仿真 光热偏转量 
基于ANSYS悬臂梁式微开关动态特性的分析
《中国民航大学学报》2008年第6期18-22,共5页丁芳 李艳芳 
利用ANSYS软件采用顺序耦合法对静电驱动悬臂梁式微开关进行力电耦合分析,得出了微开关的动态响应特性,并指出了空气阻尼对器件性能的影响;在动态分析的基础上,详细分析了微开关结构参数和其动态临界电压的关系。分析结果表明:动态临界...
关键词：微开关 动态特性 ANSYS分析系统 耦合分析 
中国民航大学学报2008年分类索引
《中国民航大学学报》2008年第6期72-75,共4页
关键词：中国民航大学 分类索引 李书明 学报 连续出版物 起始页 飞机发动机 客机 民航 民用航空 航空 分类号 分类标记 大型民用飞机 孙春林 适航审定 层合板 微开关 非扩张映像 
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