黄振华

作品数:17被引量:31H指数:3
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供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题:薄膜体声波谐振器FBAR读出电路体声波膜片更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊:《激光与红外》《中国惯性技术学报》《压电与声光》《传感技术学报》更多>>
所获基金:中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金国家自然科学基金光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金国家重点实验室开放基金更多>>
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体声波谐振器质量负载等效电感的量化方法被引量:1
《压电与声光》2016年第6期868-872,876,共6页尹汐漾 高杨 韩宾 黄振华 
国家自然科学基金资助项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重大基金资助项目(2014ZA001);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20141203);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金资助项目(15ycx125;15ycx122;15ycx123);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
体声波(BAW)谐振器受到质量负载时,谐振器的Butterworth Van Dyke(BVD)电路模型中会增加1个质量负载等效电感,为得到该电感与负载质量的量化关系,以便对BAW传感器进行系统行为仿真,该文提出了3D多物理场-等效电路仿真对比建模的方法。...
关键词:体声波谐振器 体声波传感器 MBVD模型 Pierce振荡器 检测电路 
新型体声波传感器读出电路的实验验证
《传感技术学报》2016年第12期1822-1826,共5页高杨 黄振华 尹汐漾 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01)
为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能...
关键词:BAW传感器 薄膜体声波谐振器 读出电路 六端口网络 六端口反射计 矢量网络分析仪 
FBAR振荡器作为六端口反射计射频源的BAW传感器读出电路
《中国测试》2016年第11期60-64,共5页高杨 黄振华 蔡洵 
国家自然科学基金(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验开放课题基金(2016KF02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金(14zxtk01)
为解决由于FBAR的谐振频率处于射频频段,导致BAW传感器读出电路难以实现的问题,将FBAR振荡器作为六端口反射计射频源,以检测FBAR谐振频率,从而实现BAW传感器信号读出的新型读出电路。在ADS软件中,通过建立FBAR的MBVD模型并采用Pierce拓...
关键词:体声波传感器 读出电路 薄膜体声波谐振器 振荡器 六端口反射计 
体声波双工器的优化设计方法被引量:3
《压电与声光》2016年第5期679-682,共4页高杨 蔡洵 黄振华 
国家自然科学基金资助项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目(2016KF02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14zxtk01)
体声波(BAW)双工器中Rx滤波器对Tx滤波器的负载效应,会使Tx滤波器的插入损耗性能退化而带外抑制性能过剩,进而使得BAW双工器性能不佳。为了解决这一问题,提出了一种BAW双工器的优化设计方法。设置BAW双工器中Tx滤波器的串联薄膜体声波...
关键词:体声波(BAW) 双工器 滤波器 负载效应 谐振区面积 优化变量 
薄膜体声波谐振器性能模型参数的提取方法被引量:1
《强激光与粒子束》2016年第6期175-179,共5页蔡洵 高杨 黄振华 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重大基金项目(2014ZA001);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金项目(S20141203);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金项目(15ycx122;15ycx123;15ycx125);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金项目(2013MS04)
薄膜体声波谐振器(FBAR)性能模型包含两个关系式:一个是FBAR有效机电耦合系数与其形状因子(面积与周长之比)的关系式,另一个是FBAR品质因数与其形状因子的关系式。前一个关系式中的参数为FBAR边缘区域的等效宽度,后一个关系式中的参数...
关键词:薄膜体声波谐振器 性能模型 形状因子 有效机电耦合系数 品质因数 
体声波传感器的系统级行为仿真被引量:2
《压电与声光》2016年第2期183-185,188,共4页黄振华 高杨 蔡洵 
国家自然科学基金资助项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20141203);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金资助项目(15YCX122;15YCX123;15YCX125);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
为证明六端口网络可用于体声波(BAW)传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器(FBAR)和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网...
关键词:体声波 体声波传感器 薄膜体声波谐振器 六端口网络 读出电路 
微带六端口网络的工艺健壮性分析
《中国测试》2016年第2期24-27,共4页黄振华 高杨 蔡洵 
国家自然科学基金(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金(2014ZA001);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金(S20141203);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金(15YCX122;15YCX123;15YCX125);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金(2013MS04)
为确保微带六端口网络能替代矢量网络分析仪用于体声波传感器的射频输出信号检测,分别从微带金属导线的宽度误差和厚度误差对微带六端口网络工作频段的影响进行分析。采用ADS软件的射频等效电路仿真分析得出:微带金属导线的宽度对六端...
关键词:六端口网络 工艺健壮性 体声波传感器 读出电路 矢量网络分析仪 
体声波双工器中滤波器的参数化设计方法被引量:4
《强激光与粒子束》2015年第12期217-221,共5页蔡洵 高杨 黄振华 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重大基金项目(2014ZA001);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金项目(15ycx122;15ycx123;15ycx125);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金项目(2013MS04);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金项目(S20141203)
Tx与Rx滤波器,作为体声波(BAW)双工器的关键部件,其中各薄膜体声波谐振器(FBAR)单元的谐振区面积会影响滤波器的插入损耗和带外抑制这两个重要指标。由于这两个指标是相互制约的,在设计时往往需要折衷考虑,这使得各FBAR单元的谐振区面...
关键词:体声波 双工器 滤波器 参数化设计 Mason模型 谐振区面积 
基于六端口反射计的体声波传感器读出电路被引量:4
《压电与声光》2015年第6期1066-1070,共5页黄振华 高杨 蔡洵 赵俊武 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001;2012CJMZZ00009);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20141203);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金资助项目(14YCX107;14YCX109;14YCX111);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);国家自然科学基金资助项目(61574131)
由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高的特点,导致其读出电路部分复杂,不易集成,致使体声波传感器的实用性不高。为推进体声波传感器的实用化,...
关键词:薄膜体声波谐振器 体声波传感器 六端口网路 读出电路 片上矢量网络分析仪 
薄膜体声波谐振器的测试与表征被引量:5
《微纳电子技术》2015年第10期660-665,共6页蔡洵 高杨 黄振华 刘海涛 
国家自然科学基金资助项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14zxtk01);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20141203);西南科技大学研究生创新基金资助项目(15ycx122;15ycx123;15ycx125)
为了表征所制备的L波段通孔型AlN薄膜体声波谐振器(FBAR)的性能,使用射频探针台和矢量网络分析仪测得FBAR的S参数,扫频步长为1 MHz;为了避免使用3 dB带宽法计算FBAR Q值产生的较大误差,采用阻抗相位微分法,在ADS软件环境下计算出FBAR的...
关键词:薄膜体声波谐振器(FBAR) 品质因数 有效机电耦合系数 射频探针台 矢量网络分析仪 低阻硅 
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