赵俊武

作品数：5被引量：21H指数：2
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供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题：FBAR体声波膜片读出电路温度稳定性更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《压电与声光》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金更多>>
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氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计被引量：1
《强激光与粒子束》2017年第10期89-93,共5页雷强 高杨 赵俊武 吕军光 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金项目(16ycx103);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金项目(S20141203)
基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点。为了提高灵敏度和分辨率,需要分析AlN DETF谐振器的振梁结构参数对灵敏度和信号功率的影响。在有限元仿真软件中建立AlN谐振器的多物...
关键词：微传感器 氮化铝双端固支音叉 灵敏度 信号功率 
微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势被引量：14
《强激光与粒子束》2017年第8期1-14,共14页高杨 雷强 赵俊武 吕军光 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14ZXTK01);西南科技大学研究生创新基金项目(16YCX103)
微机械谐振式加速度计(MMRA)是通过检测加速度施加前后谐振器谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为MEMS传感器的重要发展方向之一。详细讨论了微机械谐振式加速度计设...
关键词：谐振器 谐振频率 灵敏度 
新型掺碳二氧化硅-薄膜体声波谐振器结构及其仿真验证
《强激光与粒子束》2016年第10期88-92,共5页赵俊武 高杨 雷强 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金项目(S20141203);核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金项目(15ycx122,15ycx123,15ycx125)
一定厚度的低声阻抗支撑层可以在薄膜体声波谐振器(FBAR)与衬底之间形成声学隔离层,防止声波泄漏到衬底当中。掺碳二氧化硅(CDO)是一种低声阻抗材料,对FBAR具有较好的温度补偿效果,可以作为FBAR与衬底之间的声学隔离层,从而构成一种新型...
关键词：声阻抗 掺碳二氧化硅 薄膜体声波谐振器 声学隔离层 
体声波力传感器灵敏度的微分-综合分析法被引量：3
《强激光与粒子束》2016年第6期1-7,共7页高杨 赵坤丽 赵俊武 
国家自然科学基金项目(61574131);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金项目(2013MS04)
为了分析基于应力/应变效应的体声波(BAW)力传感器的敏感机理、准确计算其灵敏度,提出了一种用于BAW力传感器灵敏度分析的微分-综合分析法。该方法借鉴了微积分的原理,在Mason等效电路模型中将一个完整的BAW谐振器替换为多个谐振器微元...
关键词：体声波 谐振器 力传感器 灵敏度 有限元 等效电路 
基于六端口反射计的体声波传感器读出电路被引量：4
《压电与声光》2015年第6期1066-1070,共5页黄振华 高杨 蔡洵 赵俊武 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001;2012CJMZZ00009);中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20141203);西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14zxtk01);西南科技大学研究生创新基金资助项目(14YCX107;14YCX109;14YCX111);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04);国家自然科学基金资助项目(61574131)
由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高的特点,导致其读出电路部分复杂,不易集成,致使体声波传感器的实用性不高。为推进体声波传感器的实用化,...
关键词：薄膜体声波谐振器 体声波传感器 六端口网路 读出电路 片上矢量网络分析仪 
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