玻璃钝化

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玻璃钝化与真空技术
《微电子技术》1997年第5期43-45,共3页俞诚 谈益民 王宏波 
半导体器件制造是一种多学科多门类技术综合应用的系统工程。本文通过半导体器件中比较典型的一个分支，高反压台面晶体管关键工序玻璃化及其相关工序的讨论，介绍了真空技术在半导体生产中的广泛应用，从中可以看出半导体工艺与真空技...
关键词：玻璃钝化 半导体器件 真空技术 
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