残余气体

作品数:91被引量:156H指数:8
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显像管残余气体分析及离子轰击研究
《真空科学与技术学报》2005年第z1期115-117,共3页张晓兵 蒋峻 毛福明 雷威 
国家973计划(No.2003CB314706和No.2003CB314702);新世纪人才计划(NCET-04-0473)
显像管中的残余气体是影响显像管质量和寿命的重要因素,通过四极质谱残余气体分析系统,可以对显像管中的残余气体进行有效的分析,对带消气剂的真空器件,本底要考虑扣除消气剂作用的影响.在此基础上可以进行残余气体离子轰击的计算机模...
关键词:残余气体 质谱分析 离子轰击 
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