超高纯

作品数：155被引量：199H指数：7
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半导体及IC设备不锈钢表面技术研究被引量：1
《电子工业专用设备》2010年第12期18-25,30,共9页方刚 王茂林 祝恒阳 
国家科技重大专项资助项目(极大规模集成电路制造装备及成套工艺)(2008ZX02106)
介绍了半导体及IC产业设备之关键不锈钢零部件的表面处理工艺方法,重点叙述了国外200 mm(8英寸)以上半导体及IC工艺设备为了避免特殊环境的腐蚀和颗粒的产生而采用的最为先进的表面处理EP工艺技术,诠释了半导体及IC产业设备零部件超高纯...
关键词：半导体及IC设备 表面技术 EP 超高纯(UHP) 研究 
世伟洛克引入光伏工艺规范
《电子工业专用设备》2009年第10期66-67,共2页
日前，世伟洛克公司对外宣布其全新的工艺规范设计可以满足光伏（PV）市场的需求。该规范旨在帮助确保产品质量，降低日益增长行业的业主成本。世伟洛克光伏工艺规范（SC-06）概述了光伏应用中所使用的不锈钢元件的测试、清洁和包装流...
关键词：工艺 光伏 产品质量 不锈钢 超高纯 行业 元件 
对超高纯水中不挥发剩余物质的监测
《电子工业专用设备》1995年第2期54-54,共1页蔡君质 
对超高纯水中不挥发剩余物质的监测中国电子工程设计院蔡君质电子工业中半导体晶片生产的精细加工已由亚微米进入深亚微米，因此，除了要求专用的加工设备精密化和自动化外，还要求有优质的环境处理设备，它是影响成品生产的重要环节。...
关键词：超高纯水 不挥发 剩余物质 监测 
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