超晶格薄膜

作品数：41被引量：57H指数：4
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TaN/TiN和TaWN/TiN多晶超晶格薄膜的微结构与超硬效应被引量：9
《金属学报》1999年第11期1214-1218,共5页许俊华 李戈扬 顾明元 
通过磁控反应溅射仪制备了ＴａＮ／ＴｉＮ和ＴａＷＮ／ＴｉＮ多晶超晶格薄膜，采用Ｘ射线衍射仪（ＸＲＤ）、透射电子显微镜和显微硬度仪对超晶格薄膜的微结构和硬度进行了分析结果表明，ＴａＮ／ＴｉＮ和ＴａＷＮ／ＴｉＮ二超晶格体系...
关键词：超晶格薄膜 晶格错配度 超硬效应 多晶 薄膜 
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