超精密切削加工

作品数：26被引量：19H指数：3
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相关机构：哈尔滨工业大学长春工业大学中国工程物理研究院浙江大学更多>>
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国内外超精密加工技术与机床的发展状况被引量：1
《机械工程师》2009年第1期9-11,共3页杨桂霞 梁鑫 
超精密加工技术每前进一步,都离不开创新,这是由超精密加工技术所处的位置决定的,因为这门技术始终处在发展的前沿,飞速发展的需求决定了它必须创新。例如金刚石车刀的刃口圆弧半径达到2～4nm,就可切削下小于1nm厚度的切屑,为更高精度...
关键词：超精密加工 大规模集成电路芯片 超精密切削加工 国内外 扫描隧道电子显微镜 机床 纳米级精度 金刚石刀具 
超精密切削加工中几个主要问题的探讨
《机械工程师》2000年第9期5-7,共3页李舒燕 胡学梅 
主要探讨了超精密切削加工机床以及金刚石刀具和超精加工条件的问题。
关键词：金刚石刀具 环境条件 超精密切削 超精密机床 
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