超声波换能器

作品数:198被引量:561H指数:12
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新型电容式传感器的设计与优化
《传感器与微系统》2023年第2期105-108,113,共5页史兆强 李明 
国家自然科学基金面上资助项目(51623698)。
首先,基于微电容式超声波换能器(CMUT)建模理论,依据CMUT的电学特性和机械特性,构建了等效电路模型和平行板电容模型;然后,给出了CMUT薄膜的振动位移、固有频率、塌陷电压以及转换系数等关键的特性参量表达式,完善了CMUT理论体系,确定...
关键词:微电容式超声波换能器 SIMULINK模型 动态系统 
基于硅硅键合的电容式微超声波换能器设计与测试被引量:5
《传感器与微系统》2019年第2期66-68,共3页杨乐 张亚 
通过测试电容值的变化来分析电容式微超声波换能器(CMUT)的发射性能。介绍了CMUT的工艺过程,关键工艺为硅硅键合。利用硅硅键合工艺制作的CMUT误差小、工艺流程简单且能进行量产。利用E4990A阻抗分析仪测试CMUT电容值得到CMUT初始电容值...
关键词:微机电系统 电容式微超声波换能器 工艺流程 带宽 ANSYS 
基于超声波换能器的来人探测装置被引量:1
《传感器与微系统》2006年第2期64-66,共3页王海松 
许多场合需要照明设备能够根据来人情况自动开关,该装置使用了一对收发独立的超声波换能器,能够在一定空间内有效地探测是否有人通过,并控制照明设备的开关。当它正常工作时,会持续发射一定频率的超声信号。如果有人通过,由运动人体返...
关键词:超声波 单片机 运动物体探测 照明控制 
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