车削试验

作品数：30被引量：105H指数：5
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基于磨料水射流的多晶硅车削试验与建模被引量：1
《矿山机械》2011年第10期133-136,共4页卫排锋 雷玉勇 刘克福 蒋代君 王荣娟 
四川省教育厅项目(09ZZ030/09ZB085/09ZA116)
笔者通过进行磨料水射流车削多晶硅片的试验研究,说明了磨料水射流车切多晶硅这类脆性材料的可行性。磨料水射流车削多晶硅的表面质量主要受射流压力、进给速度、靶距和主轴转速的影响。在正交试验设计的基础上,采用回归分析方法,在磨...
关键词：磨料水射流 磨料水射流切割 车削 多晶硅 半导体 
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