磁通量密度

作品数：42被引量：21H指数：2
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平面圆形磁控溅射靶枪的磁场分析
《现代电子技术》2009年第13期202-203,207,共3页屈宝鹏 张喜凤 
磁控溅射靶枪中磁通量密度的横向分布情况对靶材的利用率、沉积薄膜的质量及磁控溅射过程的稳定性等都有重大的影响。利用有限元理论对靶表面磁通量密度的横向分量进行了模拟分析。同时,也使用高斯计对靶表面磁场强度的横向分布进行了...
关键词：磁控溅射 有限元 横向分量 磁通量密度 
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