深亚微米CMOS工艺

作品数:5被引量:8H指数:2
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:王志功高鹏乔东海史再峰陈弘达更多>>
相关机构:东南大学中国科学院大学中国科学院天津大学更多>>
相关期刊:《科协论坛(下半月)》《电子与封装》《微电子学》《核电子学与探测技术》更多>>
相关基金:国家高技术研究发展计划天津市应用基础与前沿技术研究计划国家自然科学基金更多>>
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