铜互连

作品数：176被引量：367H指数：9
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：张卫李明孙清清王鹏飞林殷茵更多>>
相关机构：上海华力微电子有限公司复旦大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金国家中长期科技发展规划重大专项国家科技重大专项更多>>
只显示领域
只显示作品
只显示人物
只显示机构
只显示资助
只显示期刊
只显示主题
相关作者更多
张卫
复旦大学微电子研究...
李明
上海交通大学
孙清清
复旦大学
王鹏飞
复旦大学
林殷茵
复旦大学
卢红亮
复旦大学
相关机构更多
相关主题更多