电容位移传感器

作品数:31被引量:97H指数:6
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相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者:吕永清刘强赵宏伟周晓勤王文更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学吉林大学华中科技大学中国科学院更多>>
相关期刊:《半导体技术》《传感器世界》《激光与光电子学进展》《低温与超导》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家科技重大专项黑龙江省留学归国人员基金江西省高等学校教学改革研究课题更多>>
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