电容位移传感器

作品数:31被引量:97H指数:6
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相关机构:哈尔滨工业大学吉林大学华中科技大学中国科学院更多>>
相关期刊:《半导体技术》《传感器世界》《激光与光电子学进展》《低温与超导》更多>>
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超导重力仪球形电容位移传感器仿真分析被引量:1
《低温与超导》2021年第10期19-23,共5页郭存良 邹彤 胡远旺 
中央高校基本科研业务费(ZY20210316);中国地震局地震研究所和应急管理部国家自然灾害防治研究院基本科研业务费专项(IS201826283)资助。
以GWR超导重力仪中超导球为对象,对球形电容位移传感技术进行了仿真研究,分析了超导球与极板的零位间距、极板圆心角两个因素对球形电容线性度和灵敏度的影响。结果表明:零位间距增大,非线性误差减小,灵敏度减小;极板圆心角增大,灵敏度...
关键词:超导重力仪 球形电容 非线性误差 灵敏度 
栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差的智能补偿方法
《传感技术学报》2021年第5期657-662,共6页余建平 卢科青 李欣 
浙江省基础公益研究计划项目(LGG19E050013);浙江省自然科学基金项目(LZY21E050003)。
本文提出一种栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差的补偿方法和实现方式。分析传感阵列X-Y方向线性位移信号正交性偏差产生的原因,建立偏航角影响下的信号正交性偏差模型,利用互相关检测原理,构造了栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差...
关键词:电容位移传感器 正交性偏差 偏航角 互相关补偿 
球型极板电容位移传感器的设计与研究被引量:5
《仪表技术与传感器》2018年第5期111-114,共4页李晓辉 程东 
设计了一种球型极板结构型式的电容式位移传感器。球型极板结构探头既能从原理上消除边缘效应带来的影响,又有效解决了传统平行板电容传感器的对中问题。以AD7747为核心的电容检测电路,集成度高,稳定性好,能够有效实现电容测量的数字化...
关键词:球型极板 电容 探头 位移传感器 边缘效应 数字化 
星载微推进器推力测量中电容位移传感器极板不平行误差分析被引量:1
《兵工学报》2018年第4期816-824,共9页王大鹏 金星 周伟静 李南雷 
国家自然科学基金项目(11602304)
为提高星载微推进器的推力测量精度,对电容位移传感器测量位移时的极板不平行误差进行了研究。在分析电容位移传感器工作原理的基础上,以典型扭摆测量系统为例,分析了极板不平行误差随着横梁扭转角变化的关系。根据位移测量臂长为0时极...
关键词:星载微推进器 推力测量 位移测量 极板不平行误差 实验标定 
基于电容位移传感器与金属球的三维定位方法与实验研究被引量:2
《仪表技术与传感器》2018年第2期166-170,179,共6页陶鑫 袁道成 李少博 
中物院超精密加工技术重点实验室资助项目(K914-14-JCZ)
文中提出一种基于电容位移传感器测量金属球的非接触三维定位方法。通过理论与实验方法研究了定位精度的影响因素,发现定位精度与传感器的参数、金属球球径、传感器与金属球表面之间的距离等参数有关。通过优化参数设计实验,采用CSH02FL...
关键词:三维定位 非接触 电容位移传感器 
基于激光干涉的电容位移传感器非线性误差标定方法被引量:7
《激光与光电子学进展》2017年第10期255-262,共8页王大鹏 金星 周伟静 李南雷 
国家自然科学基金(11602304)
针对微推力测量中电容位移传感器需要频繁标定非线性误差的问题,提出了一种基于激光干涉的现场标定方法。标定原理为:在直线位移台上同时调节可动角隅棱镜与测量目标的位置,进而改变干涉光路光程差及电容位移传感器极板间距,以激光干涉...
关键词:测量 标定 激光干涉 电容位移传感器 非线性误差 微推力测量 
高温电容位移传感器的设计与实验研究被引量:3
《传感技术学报》2016年第10期1509-1515,共7页毕超 郭霞 徐昌语 杨辉 
国家科技重大专项项目(2013ZX04001071)
为了精确测量航空发动机中的轴承座与外部机匣之间的相对变形量,应用高温合金、氧化铝陶瓷以及耐高温电缆等研制了可用于高温环境的特种电容位移传感器。将其安装于机匣的承力支板中,即可实现该相对变形量的测量。传感器采用双层屏蔽结...
关键词:航空发动机 电容位移传感器 仿真 高温验证 
高精度电容测微系统相关电路设计
《电子技术与软件工程》2016年第19期139-139,共1页李文萍 
为了能够进一步提高重力仪电容测微系统的测量精度与动态特性,本文对高精度电容测微系统相关电路设计进行了具体研究,而这一研究使得电容测微系统具备了更便利的操作性以及更强的数据处理、分析功能,由此就可以看出本文研究的可行性。
关键词:高精度电容位移传感器 重力仪电容测微系统 电路设计 
调幅式电容位移传感器开关检波电路设计被引量:2
《传感器与微系统》2015年第5期85-87,91,共4页冯佳 李佩玥 徐立松 尹志生 隋永新 
国家科技重大专项02专题项目(2009ZX02205)
针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题,设计了一种基于模拟开关的全波检波电路。首先,对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析,根据分析结果选择了全波检波方法。在此基础上,完成开关全波检波电路...
关键词:电容位移传感器 调幅 交流激励 检波电路 
变极距电容位移传感器的双频激励方法研究
《电子元件与材料》2015年第4期26-31,共6页张立锋 俞红祥 沈孟锋 
国家自然科学基金项目资助(No.51105343);浙江省青年科学基金项目资助(No.LQ12E05004);浙江省新苗人才计划资助(No.2014R404081)
针对变极距电容位移传感器提出了一种双频激励方法。同时采用低频、高频正弦电压源激励平板发射电极,通过电容耦合效应将极距变化转换为双频调幅信号,并通过高阻抗缓冲、带通滤波、精密整流电路获得双路位移调制电压信号。采用数字信号...
关键词:双频激励 电容传感器 位移测量 振动检测 调制信号 DSP 
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