热氮化

作品数:23被引量:62H指数:3
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相关领域:电子电信理学更多>>
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相关机构:华南理工大学清华大学东京毅力科创株式会社武汉科技大学更多>>
相关期刊:《半导体杂志》《微电子学》《物理学报》《应用科学学报》更多>>
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