热退火

作品数:393被引量:482H指数:8
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相关机构:中国科学院中芯国际集成电路制造(上海)有限公司复旦大学中国科学院微电子研究所更多>>
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徐秋霞
中国科学院微电子研...
张卫
复旦大学微电子研究...
丁士进
复旦大学微电子研究...
郝跃
西安电子科技大学
于军胜
电子科技大学
彭俊彪
华南理工大学材料科...