快速热退火

作品数:181被引量:216H指数:7
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相关作者:徐秋霞张卫丁士进孙清清郝跃更多>>
相关机构:中国科学院中芯国际集成电路制造(上海)有限公司复旦大学中国科学院微电子研究所更多>>
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相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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