UHV/CVD

作品数:29被引量:60H指数:5
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相关领域:电子电信更多>>
相关作者:钱佩信余金中叶志镇陈培毅黄靖云更多>>
相关机构:清华大学中国科学院浙江大学西安电子科技大学更多>>
相关期刊:《深圳信息职业技术学院学报》《Journal of Rare Earths》《微电子学》《Science China Materials》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家教育部“985工程”更多>>
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钱佩信
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余金中
中国科学院半导体研...
叶志镇
浙江大学材料科学与...
陈培毅
清华大学信息科学技...
黄靖云
浙江大学材料科学与...
成步文
中国科学院半导体研...