CVD淀积

作品数:11被引量:2H指数:1
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相关领域:电子电信更多>>
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相关机构:中国科学院华中科技大学吉林大学夏普株式会社更多>>
相关期刊:《集成电路通讯》《半导体光电》《计算机与现代化》《微电子学》更多>>
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李玉鉴
中国科学院半导体研...
陆建祖
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谭满清
中国科学院半导体研...
何笑明
华中科技大学
王敬义
华中科技大学
谢丹
清华大学