ECR-CVD

作品数:26被引量:48H指数:3
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相关领域:理学一般工业技术更多>>
相关作者:宁兆元巴德纯王志陈光华程珊华更多>>
相关机构:苏州大学北京工业大学中国科学院西安电子科技大学更多>>
相关期刊:《润滑与密封》《中国学术期刊文摘》《微细加工技术》《功能材料》更多>>
相关基金:国家自然科学基金电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金国家重点基础研究发展计划江苏省自然科学基金更多>>
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宁兆元
苏州大学物理科学与...
巴德纯
沈阳航空工业学院
王志
清华大学机械工程学...
陈光华
北京工业大学材料科...
程珊华
苏州铁道师范学院物...
辛煜
苏州大学物理科学与...