超深亚微米工艺

作品数:12被引量:25H指数:3
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相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者:鲍海云蔡懿慈许静宇经彤洪先龙更多>>
相关机构:清华大学北京华大九天软件有限公司西安电子科技大学中国科学院大学更多>>
相关期刊:《微电子学》《计算机工程与应用》《计算机应用研究》《中国集成电路》更多>>
相关基金:国家自然科学基金中国博士后科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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