磁控反应溅射

作品数:132被引量:392H指数:10
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刘正堂
西北工业大学材料学...
郭亨群
华侨大学信息科学与...
李合琴
合肥工业大学材料科...
于毅
清华大学信息科学技...
王启明
中国科学院半导体研...
刘理天
清华大学信息科学技...