何嘉

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等离子体表面处理对YBCO薄膜表面形貌的研究
《功能材料》2004年第z1期1338-1340,共3页赵跃 刘敏 董杰 梁锦霞 何嘉 索红利 周美玲 
国家863计划资助项目(2002AA306221)
采用自制的等离子表面处理装置对MOD法制得YBCO薄膜进行表面处理.我们通过控制等离子处理时间,辉光电流,处理温度以及退火的工艺流程,发现YBCO超导薄膜表面成分,表面形貌发生的明显的改变.这种简易快速的方法将对YBCO薄膜表面质量提高...
关键词：等离子表面处理 YBCO MOD 
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