章壮键

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
发文主题：磁控溅射制备TIO2薄膜SIMSRAMAN光谱二氧化钛薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
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锑在直流反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜中的作用被引量：3
《真空科学与技术学报》2005年第1期50-52,共3页蔡臻炜 沃松涛 沈杰 崔晓莉 俞宏坤 杨锡良 章壮键 
用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了Sb修饰TiO2 薄膜 ,利用XRD ,Raman光谱以及SIMS研究了Sb对其表面结晶情况的影响并用XPS及SIMS分析了薄膜的成分。结果表明一定程度Sb的修饰对TiO2 薄膜成晶有优化作用 ,起到了类似表面活性剂...
关键词：直流反应磁控溅射 TIO2薄膜 类似 二氧化钛薄膜 RAMAN光谱 表面 SIMS XRD XPS 劣化 
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