范晓明

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
发文主题：近场扫描光学显微镜PI控制器反馈控制振幅衍射极限更多>>
发文领域：机械工程更多>>
发文期刊：《光子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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剪切力模式近场扫描光学显微镜的恒幅反馈控制方法研究被引量：1
《光子学报》2008年第8期1585-1588,共4页范晓明 王克逸 
国家自然科学基金(60377004)资助
剪切力模式近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的音叉探针间距控制系统中,用相位反馈控制和检测剪切力,同时采用比例+积分(PI)技术实现对音叉探针振幅的反馈控制,使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值.用...
关键词：近场扫描光学显微镜 剪切力模式 恒振幅反馈 PI控制器 双反馈控制系统 
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