云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陈志涛

陈志涛: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：广州有色金属研究院更多>>; 发文主题：欧姆接触出光沉积厚度盐层芯片更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《材料研究与应用》更多>>; 所获基金：广州市应用基础研究专项项目更多>>

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AlN/蓝宝石模板上生长的Al_(0.6)Ga_(0.4)N薄膜结构与光学性能研究: 《材料研究与应用》2014年第3期169-172,共4页王君君刘宁炀张康张志清赵维范广涵张娜陈志涛; 广东省战略性新兴产业LED专项(项目编号2010A081001001;2011A081301003;2012A080301003;2012A080302002);广州市应用基础研究项目(编号2013J4100014); 采用MOCVD方法在AlN/蓝宝石模板上生长高铝组分Al0.6Ga0.4N薄膜,并采用高分辨率XRD(HRXRD)及阴极荧光(CL)方法对其进行了表征.结果表明,AlGaN薄膜产生了相分离,其原因为厚膜中的应力弛豫及Al原子低的表面迁移率.; 关键词：相分离 AlN/蓝宝石模板 AL 0.6Ga0.4N