李续忠

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JSM-840扫描电镜真空系统故障分析及检测
《电子显微学报》1990年第3期261-261,共1页刘明林 贾向群 李续忠 
JSM-840扫描电镜的真空系统是由三个“皮拉尼计”来检测的。PG1与样品室相连。PG2与电子光路系统相连。PG3与扩散泵DP和储气室相连。“皮拉尼计”与各种电子线路、断电器、控制阀等配合构成一整套自动保护系统。扩散泵工作不正常或在此...
关键词：扫描电镜 真空系统 故障分析 检测 
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