王本莲

作品数：2被引量：7H指数：1
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供职机构：电子科技大学更多>>
发文主题：LAB场发射阵列电化学腐蚀场发射半导体制造工艺更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《电子器件》《强激光与粒子束》更多>>
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LaB_6场发射阴极阵列的制备工艺研究
《电子器件》2009年第2期277-280,共4页王本莲 林祖伦 王小菊 曹伟 
利用微细加工技术在单晶LaB6材料上制备出了场发射二极管阴极阵列。具体工作是结合半导体工艺,采用薄膜沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀以及电化学腐蚀等一系列工序制备出了性能良好的尖锥阵列。工作的重点是覆有掩膜层单晶LaB6材料的电...
关键词：LaB6 场发射阴极阵列 半导体工艺 电化学腐蚀 
单晶LaB_6场发射阵列的电化学腐蚀工艺被引量：7
《强激光与粒子束》2008年第7期1195-1198,共4页王小菊 林祖伦 祁康成 王本莲 蒋亚东 
六硼化镧(LaB6)场发射尖锥阵列的刻蚀工艺是制备LaB6场发射阵列阴极的关键。在(111)面单晶LaB6基片上,用等离子体增强化学气相沉积法制备氮化硅层做掩膜,光刻后采用电化学腐蚀方法对基片进行刻蚀,得到具有一定高度的LaB6尖锥场发射阵列...
关键词：六硼化镧 单晶 场发射阵列阴极 电化学刻蚀 
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