谢新华

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：CH气相质谱直流辉光等离子体更多>>
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高气压直流辉光CH_4/H_2等离子体的气相过程诊断被引量：1
《物理学报》2013年第16期279-283,共5页郑仕健 丁芳 谢新华 汤中亮 张一川 李唤 杨宽 朱晓东 
国家自然科学基金(批准号:11075158);国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金(批准号:J1103207)资助的课题~~
对高气压(约100Torr)直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断.在高气压下,等离子体不同区域光发射特性存在明显差异.正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线,阳极区粒子发射谱线明显减少,而在阴极区则出现大...
关键词：高气压直流等离子体 光发射谱 质谱 
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