云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 赵银平

赵银平: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：中山大学物理科学与工程技术学院光电材料与技术国家重点实验室更多>>; 发文主题：光致发光ZNO薄膜P型ZNO薄膜反应溅射溅射法制备更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《电子元件与材料》更多>>; 所获基金：江门市科技计划项目国家重点基础研究发展计划广东省自然科学基金更多>>

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制备工艺对ZnO薄膜的结构与光学性质的影响: 《电子元件与材料》2007年第2期20-23,共4页赵银平丁瑞钦朱慧群胡怡王忆汪河洲; 国家973计划资助项目(2004CB719804);广东省自然科学基金资助项目(04011770);江门市科技计划资助项目[江财企2004(59)]; 利用射频磁控反应溅射技术生长出具有高度晶面(0002)取向的ZnO外延薄膜。通过AFM、XRD、吸收光谱和荧光光谱等测试手段,分别研究分析了不同衬底、不同溅射气氛和退火对ZnO薄膜结构及光学性质的影响。研究表明,在200℃低温生长的硅基ZnO...; 关键词：半导体技术射频磁控反应溅射 ZnO外延薄膜光致发光